high temperature furnace (458) オンライン メーカー
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
ビデオ
効果的空間 (mm): 1000*1000*1500
熱力 (KVA): 300
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
コーティングの温度: 200-1050℃
冷却システム: 2組の高性能Water-cooled凝縮物のトラップ
問い合わせを直接私たちに送ってください.
