vacuum furnace systems (355) オンライン メーカー
プロセス温度 (°C): 700〜1050
塗装の種類: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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効果的空間 (mm): 1000*1000*1500
熱力 (KVA): 300
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
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塗装方法: 化学蒸気堆積 (CVD)
総電源: 約40/50/60/80KW
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