vacuum pressure furnace (486) オンライン メーカー
効果的空間 (mm): 1000*1000*1500
熱力 (KVA): 300
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
圧力レベル: 1MPa/2MPa/6MPa/10MPa
ガスが導入されるようにして下さい: Ar/N2/H2/CH4
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