起源の場所:
中国
ブランド名:
Ruideer
証明:
CE
モデル番号:
カスタマイズ可能
この装置は,炭素基/セラミック基の材料のシリコンカービードコーティングに使用されます.特に半導体の表層にシリコンカービッドが堆積し,エピタキシアル受容体とエッチリング.
エピタキシアルベース 高純度グラフィットディスク 円の溝で ウェファーの基板を固定する炉に入れた後 表面に結晶膜の層が成長します 結晶膜は上軸層ですリトグラフィやイオン植入などのウェッファープロセスはすべて表頭層で行われます.
明らかに,グラフィット製の表軸基は,半導体プロセスにおける超高い清潔性要求を満たすことはできません.密度の高いシリコンカービッドフィルムを 基に敷き詰めるために 化学蒸気堆積を 使う必要があります
選択可能な設定
1オーブンのドア:スクリュー/水力/手動式上昇型;スイング開口/平行開口 ((大型のオーブンのドア);手動式密閉/自動ロックリング密閉
2炉容器: 全炭鋼/内層不?? 鋼/全不?? 鋼
3炉熱帯:軟炭フェルト/軟グラフィットフェルト/硬複合フェルト/CFC
4熱元とマフル:同静圧グラフィット/高純度,強度,密度グラフィット/細かいサイズグラフィット
5プロセスガスシステム:体積/質量流量計
6熱対:K型/N型/C型/S型
• デザイン 基準
設備は,品質技術監督局の圧力容器要件に従って設計され,圧力試験を経て合格し,出荷されます.電気設計と建設は,国家基準を満たしています.
• 設置前試験と受付前試験
すべてのパイプライン,真空パイプライン,プロセスガスパイプライン,冷却水パイプライン,圧縮空気パイプラインなど設置後には予備試験を行うことができる.設備以外のパイプラインは顧客が提供します. 設置にはすべてのケーブルの接続も含まれます.電源キャビネットを接続するメインケーブルは顧客が提供します設置後,私たちは真空と正圧の漏れを検査し,機械的および電気的機能テストを行います.
• 解体 と 輸送
装置はいくつかの大きな部品に分解され,標準化された方法で梱包され,輸送車に積まれます.
• 顧客サイトの設置と運用
レデルのアフターセールスエンジニアは 20日以内に チームを指揮し 稼働させ 試製品燃焼等を完了します顧客は適切な準備をし,必要な道具を提供する必要があります.設置スタッフのサポート (機械スタッフ1名と電気スタッフ1名とすることが推奨されます).
• 最終 的 承認
装置の設置と投入後,技術契約の要件に従って,設備を最終的に承認することができる.
• 訓練
販売後技術者は 運用,保守,トラブルシューティングなどを含む 組織的で完全な現場訓練を 提供します
• 技術データ提供
安全な運用と設備の保守を保証するために,次の技術データは顧客に提供されます.
1設備の設置図
2ユーザーマニュアル
3部品リスト
4電気図
5部品の説明書
よくある質問
Q: 工場ですか? それとも貿易会社ですか?
A:私たちは中国のトップの高温真空炉メーカーで,10年以上の経験があります.
Q: オーダーメイドまたはOEMサービスがありますか?
A:はい,私たちは強力なR&Dチームとハイテク機器を持っています. だから,私たちは通常のモデルだけでなく,私たちのクライアントのリプーリメントとしてカスタマイズ可能なオーブンを供給することができます.
Q:あなたの利点は?
A: その通り
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