high pressure furnace (431) オンライン メーカー
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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最大作業温度 ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃）: ≤±3
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作業スペース: 400*400*1200mm,または顧客のニーズに応じてカスタマイズ
作業圧: 60棒
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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