high pressure furnace (447) オンライン メーカー
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作業スペース: 400*400*1200mm,または顧客のニーズに応じてカスタマイズ
作業圧: 60棒
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
部屋の大きさ: カスタマイズ可能 (200*200*400/400*400*1200/500*500*1800mm)
究極の真空: 3.67*10⁻³ Pa
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温度: 2200℃
部屋の大きさ: 300*300*600mm/500*500*1200mm/500*500*1800mm/カット
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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