vacuum furnace equipment (419) オンライン メーカー
形成剤: パラフィン,PEG,ゴム,C12H22O5nなど
温度の測定: W-Re 5/26 熱対+赤外線ピロメーター
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プロセス温度 (°C): 700〜1050
塗装の種類: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
名前: 珪華のヒップの炉
真空の漏出率: 1Pa/h、2Pa/h、3Pa/h
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