Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
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最大作業温度 ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃）: ≤±3
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マックス ワーキングテンパー: 1800℃
Max.working圧力: 9.8bar
構造: 横のタイプ
Dimension Of Furnace: 4500x5400x3500mm
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形成剤: パラフィン,PEG,ゴム,C12H22O5nなど
温度の測定: W-Re 5/26 熱対+赤外線ピロメーター
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
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Application: Sintering And Hot Isostatic Pressing
Dewaxing Rate: >98%
Vacuum Degree: 1Pa(under Cold,empty,dry Furnace)
Inner Tank Material: Graphite
Operating Time: 300 Furnace/time
Dimension Of Furnace: 4500x5400x3500mm
Workingspace: 12-1000L
マックス.ワークプレッシャー マックス.ワークプレッシャー (MPA): 1、2、6、10、20
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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冷却時間: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((空炉,冷却 シンテリング温度1450〜100°C) 水温≤26°C,水圧2-3bar
サイズ: カスタマイズ
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