作業圧力: 10/20/30/60/100/200バー
漏れ率: ≤3pa/h（炉を乾燥させた後の制限真空を測定し、ポンプグループの操作を停止し、テストを開始します。空の炉で3時間以内に平均、清潔と寒い状態）。
大気制御: ガス混合システム
ワックスの収集率: ≥98％（10kgパラフィン精製ワックス、AR陰圧の脱ワックス、せいぜい3つの平均）
タイプ: 統合
アドバンテージ: 長いサービスライフ
色: 、白い、灰色、青い黒い、緑
ワックスの収集率: ≥98％（10kgパラフィン精製ワックス、AR陰圧の脱ワックス、せいぜい3つの平均）
Max.Loadingの重量: 50/ 100/150/ 300/500/1200/ 1500kgs
作業圧力: 10/20/30/60/100/200バー
力: 380V
大気制御: ガス混合システム
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マックス.作業温度: 1800℃
温度の均一性: ≤±5℃
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マックス ワーキングテンパー: 1600℃
作業温度: 1550℃
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ハイライト:
パッケージの詳細: 木製のケース
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ハイライト:
パッケージの詳細: 木製のケース
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プロセス温度 (°C): 700〜1050
前駆物及びプロセスガス: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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前駆物及びプロセスガス: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
コーティング基板: メタル,セラミック,ガラスなど
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Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
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Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
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