前駆物及びプロセスガス: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
コーティング装置の大きさ: カスタマイズ可能
コーティング基板: メタル,セラミック,ガラスなど
コーティングの密着性: 強い
総電源: 約40/50/60/80KW
コーティング基板: メタル,セラミック,ガラスなど
作業スペース: 400*400*1200mm,または顧客のニーズに応じてカスタマイズ
作業圧: 60棒
最大作業圧 (MPa): 1〜10
マックス.作業温度: 2000
発熱体: グラフィット
ポンプ セット: バックポンプ & ルーツポンプ
問い合わせを直接私たちに送ってください.