Workingspace: 12-1000L
マックス.ワークプレッシャー マックス.ワークプレッシャー (MPA): 1、2、6、10、20
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
最大作業温度 ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
マックス ワーキングテンパー: 1800℃
Max.working圧力: 9.8bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
冷却時間: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((空炉,冷却 シンテリング温度1450〜100°C) 水温≤26°C,水圧2-3bar
サイズ: カスタマイズ
コーティング基板: メタル,セラミック,ガラスなど
コーティングの密着性: 強い
前駆物及びプロセスガス: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
コーティング装置の大きさ: カスタマイズ可能
塗装方法: 化学蒸気堆積 (CVD)
総電源: 約40/50/60/80KW
総電源: 約40/50/60/80KW
コーティング基板: メタル,セラミック,ガラスなど
冷却時間: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((空炉,冷却 シンテリング温度1450〜100°C) 水温≤26°C,水圧2-3bar
最大温度: 2000℃
前駆物及びプロセスガス: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
コーティング基板: メタル,セラミック,ガラスなど
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